光罩盒 | 美容美髮公開資訊
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光罩盒（Mask Package），意為儲存光罩的盒子，主要用於避免光罩遭受外部微塵粒子及化學污染[1]。
光罩運輸盒：由光罩製作廠運輸至晶圓廠間運輸用； 光罩廠區內部運輸盒； 光罩機台傳送盒：將光罩送入機台的盒子，針對特定的設備使用不同的傳送盒。其中包括非SMIF系統和SMIF系統。 參考文獻[編輯]光罩盒 | 美容美髮公開資訊
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